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TECHNICAL ARTICLES詳細(xì)介紹
MKS MultiGas 6030傅立葉變換紅外光譜儀是以傅利葉變換紅外為基礎(chǔ)的多氣體光譜分析儀。其具有ppb到ppm靈敏度。廣泛用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝控制和監(jiān)控,氣體純度和組成分 析,環(huán)境有毒有害氣體監(jiān)視和工業(yè)尾氣監(jiān)視。MultiGas 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀能分析含有高達(dá)40%水的氣流,能同時(shí)分析和顯示多達(dá)30種氣體。分析儀儲(chǔ)存了校準(zhǔn)光譜,故省出了氣體筒的成本。另外,操作者也會(huì)發(fā)現(xiàn)MKS MultiGas 6030操作簡便,易于維護(hù)。
特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)
? 10ppb-靈敏度對于絕大多數(shù)有毒有害氣體
? 易于移動(dòng)從一處移到另一處,設(shè)置僅需幾分鐘
? 同時(shí)分析和顯示多達(dá)30種氣體
? 分析儀儲(chǔ)存了校準(zhǔn)光譜,省去了氣體筒的成本
? 取樣氣體在進(jìn)入分析室前加熱并維持恒定溫度
? 保護(hù)的線性檢測器,確保所有分析儀維持在相同的校準(zhǔn)條件下
? 頻率和分辨率診斷,確保校準(zhǔn)恒定
? 提供自動(dòng)溫度和壓力補(bǔ)償以確保分析精度
? 用戶操作簡便軟件界面,稍加培訓(xùn)即可操作
光譜分析
Multigas的分析器有個(gè)具有定量和多功能的分析軟件,它能同時(shí)分析和報(bào)道許多混合 物的濃度,這個(gè)能在個(gè)人電腦上運(yùn)行的軟件, 能對分析器直接量測到的氣體溫度和壓力的 變化進(jìn)行自動(dòng)修正。樣本的收集和分析在一 秒內(nèi)完成,進(jìn)行瞬時(shí)分析。
整個(gè)數(shù)據(jù)整理過程中,MultiGas 軟件一邊計(jì)算SETUP里面選擇氣體的濃度,一邊不 斷的收集和描繪光譜。顯示形式包括濃度歷 史的圖表和列表形式,測得的光譜和殘余光 譜。這個(gè)殘余光譜能被用來確定分析的誤差, 使得QA/QC變得簡單和真實(shí)。當(dāng)解決了所有 被提及的光譜后,殘留光譜就描繪“剩余的" 光譜信息一次。一旦光譜被收集和保存,這 些光譜可以在任何時(shí)候利用同樣或不同的零 點(diǎn)設(shè)定進(jìn)行再工藝。
對應(yīng)環(huán)境和工藝監(jiān)控的特殊設(shè)計(jì),2102傅利葉變換紅外分光計(jì)是緊湊和粗糙的,能夠在0.5cm-1的光譜決議上操作,是可用的處理FTIR方式中較快速,靈敏和穩(wěn)定的!另外,它能在在惡劣環(huán)境下操作,具有對高溫,振動(dòng)和溫度變化的免疫。更可貴的是,高速率的數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)是 標(biāo)準(zhǔn)的,為分析提供低噪音的紅外光譜。
這個(gè)分光計(jì)連接到一個(gè)小體積(200mL) 多變換,有5.11米有效通道的氣室,這個(gè)氣室的設(shè)計(jì)結(jié)合了非球面的, 非端正的鏡子,它能為傳統(tǒng)的多變換氣室提供兩倍光學(xué)吞吐量。做為選擇,一個(gè)單變換 的氣室能用于很高濃度的高腐蝕或者強(qiáng)吸收 率的氣體,任何一種氣室在環(huán)境溫度到 191℃之間操作。
儀器的自主校準(zhǔn)
MultiGas 的軟件有多點(diǎn)校準(zhǔn)圖,能提供 一個(gè)動(dòng)態(tài)的范圍至10-9的的數(shù)量級.許多核數(shù)的校準(zhǔn)都由其提供,另外,用戶也可以通過 已知的濃度來進(jìn)行校準(zhǔn)。MultiGas 軟件檢驗(yàn)每個(gè)工具的性能的效用,使它能把一個(gè)已經(jīng) 在一臺機(jī)器上校準(zhǔn)的的值用于其他任何一臺機(jī)器上,而且不用變更。
MKS MultiGas 6030傅立葉變換紅外光譜儀規(guī)格
分析儀主機(jī)
分析儀采樣參數(shù)
分析儀氣體室
檢測極限
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