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MKS MultiGas 6030傅里葉變換紅外氣體分析儀是以傅利葉變換紅外為基礎(chǔ)的多氣體光譜 分析儀。其具有ppb到ppm靈敏度。廣泛用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝控制和監(jiān)控,氣體純度和組成分 析,環(huán)境有毒有害氣體監(jiān)視和工業(yè)尾氣監(jiān)視。MultiGas 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀能分析含有高達(dá)40%水的氣流,能同時分析和顯示多達(dá)30種氣體。分析儀儲存了校準(zhǔn)光譜,故省出了氣體筒的成本。另外,操作者也會發(fā)現(xiàn)MKS MultiGas 6030傅里葉變換紅外氣體分析儀操作簡便,易于維護(hù)。 MultiGas 6030由保護(hù)的2102傅利葉變換紅外制成分光計, 高光通量取樣單元,分析軟件及獨立的定量光譜庫組成。MultiGas 6030收集高分辨率 的紅外光譜與定量光譜庫分析,提供絕大多數(shù)氣體及水蒸氣的高精度,高靈敏度測量。
特點和優(yōu)點
? 10ppb-靈敏度對于絕大多數(shù)有毒有害氣體
? 易于移動從一處移到另一處,設(shè)置僅需幾分鐘
? 同時分析和顯示多達(dá)30種氣體
? 分析儀儲存了校準(zhǔn)光譜,省去了氣體筒的成本
? 取樣氣體在進(jìn)入分析室前加熱并維持恒定溫度
? 保護(hù)的線性檢測器,確保所有分析儀維持在相同的校準(zhǔn)條件下
? 頻率和分辨率診斷,確保校準(zhǔn)恒定
? 提供自動溫度和壓力補償以確保分析精度
? 用戶操作簡便軟件界面,稍加培訓(xùn)即可操作
應(yīng)用
? 煙囪監(jiān)測器
? 工藝監(jiān)測改進(jìn)和優(yōu)化
? 空氣環(huán)境分析
? 氣體純度分析
? 燃燒排放監(jiān)測
? 選擇性硅整流催化還原性能監(jiān)測
規(guī)格
分析儀主機
分析儀采樣參數(shù)
分析儀氣體室
檢測極限
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